1 Результаты в Электронный каталог
Выбранные фасеты:
Заглавие серии:
Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 25
| Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
|---|---|---|---|
| 1 |
Material Type: Книга
|
|
Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резистеСилаков, М. В.; Бабушкин, В. А.; Валиев, К. А.2003Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2004-4/1059 )(обновляем...) |