Методы литографии в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"

Макарчук, Владимир Васильевич; Родионов, Илья Анатольевич; Цветков, Юрий Борисович

2011

Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.)    (2011-5/7524 )(обновляем...)