1 Результаты в Электронный каталог
Выбранные фасеты:
автор:
Ивин, В. В
| Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
|---|---|---|---|
| 1 |
Material Type: Книга
|
|
Исследование предельных возможностей использования оптической литографии в области критических размеров менее 0.2 мкм с помощью математического моделированияИвин, В. В.; Махвиладзе, Т. М.2000Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2001-4/4257 )(обновляем...) |