Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
---|---|---|---|
1 |
Material Type: Книга
|
![]() |
Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографииСилаков, М. В.; Бабушкин, Г. А.; Валиев, К. А.2003Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2004-4/1058 )(обновляем...) |
2 |
Material Type: Книга
|
![]() |
Исследование предельных возможностей использования оптической литографии в области критических размеров менее 0.2 мкм с помощью математического моделированияИвин, В. В.; Махвиладзе, Т. М.2000Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2001-4/4257 )(обновляем...) |
3 |
Material Type: Книга
|
![]() |
Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резистеСилаков, М. В.; Бабушкин, В. А.; Валиев, К. А.2003Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2004-4/1059 )(обновляем...) |