Пористая структура диэлектрических и полупроводниковых пленок и ее изменение при термической, ионной и химической обработке : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. х. н.

Василенко, Юрий Анатольевич

1984

Хранится в ДСП    (84-50К/7705 )(обновляем...)