Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике : Учеб. пособие по курсу "Физ.-техн. основы технологии микроэлектроники"

Сорокин, Игорь Николаевич; Акуленок, Марина Викторовна

1995

Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.)    (96-3/6165 )(обновляем...)