Язык:

Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.07

Березин, Андрей Сергеевич

Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (А98/10376 )(обновляем...)

Заглавие:
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.07
Шифр хранения: А98/10376
Описание: Березин А. С. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.07 / Моск. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т). - М., 1997. - 22 с. : ил. ; 20 см.. - Библиогр.: с. 22 (5 назв.)
Автор: Березин, Андрей Сергеевич
Язык: Русский
Примечания: Библиогр.: с. 22 (5 назв.)
Ключевые слова: Технические науки - Радиотехника и связь. Элетроника. Управление, автоматика и вычислительная техника
Системный номер: NLR01 000160259

Ссылки

Назад к списку результатов