Исследование предельных возможностей использования оптической литографии в области критических размеров менее 0.2 мкм с помощью математического моделирования

Ивин, В. В.; Махвиладзе, Т. М.

2000

Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.)    (2001-4/4257 )(обновляем...)