Исследование механизмов основных процессов безрезистовой ионной литографии по пленкам двуокиси кремния : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н.

Данилов, Владимир Александрович (канд. физ.-мат. наук, физика твердого тела) NLR10::RU\NLR\AUTH\770240847

1987

Хранится в ДСП    (88-50К/539 )(обновляем...)