Язык:

Generating micro- and nanopatterns on polymeric materials

Хранится в Иностранный книжный фонд (Ик 2013-7/708 )(обновляем...)

Заглавие:
Generating micro- and nanopatterns on polymeric materials
Шифр хранения: Ик 2013-7/708
Описание: Generating micro- and nanopatterns on polymeric materials / ed. by Aránzazu del Campo a. Eduard Arzt. - Weinheim : Wiley-VCH, cop. 2011. - XIX, 369 с. : ил., цв. ил. ; 25 см.. - Библиогр. в конце гл.. - Указ.: с. 361-369
Другие ответственные лица и организации: Campo, Aránzazu del -- Редактор
Язык: Английский
ББК: З844.15-06
Примечания: альтернатива фотолитографии в микроэлектронике
Библиогр. в конце гл.
Указ.: с. 361-369
Предметные рубрики: Интегральные схемы -- Производство -- Применение литографии NLR12::RU\NLR\auth\661435294
Системный номер: NLR01 009997771

Ссылки

Назад к списку результатов

Ищем в удалённых базах данных, пожалуйста подождите