Язык:

Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте

Силаков, М. В.; Бабушкин, В. А.; Валиев, К. А.

2003

Хранится в Русский книжный фонд (Моск. пр.) (2004-4/1059 )(обновляем...)

Сохранить

Заглавие:
Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте
Шифр хранения: 2004-4/1059
Описание: Силаков М. В., Бабушкин В. А., Валиев К. А. Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте / Силаков М.В., Бабушкин Г.А., Валиев К.А. и др. - М. : МАКС Пресс, 2003. - 40 с. : ил. ; 21 см.. - (Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 25). - Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.)
Автор: Силаков, М. В.;
Бабушкин, В. А.;
Валиев, К. А.
Заглавие серии: Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 25
Язык: Русский
ББК: З852.39-06
З844.15-040.7-01
Примечания: тормозное рентгеновское изл.
Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.)
Предметные рубрики: МОП-приборы -- Производство -- Применение электронной литографии NLR12::RU\NLR\auth\661386155;
МОП-приборы -- Электронные процессы NLR12::RU\NLR\auth\66720079;
Резисты -- Физические свойства -- Влияние тормозного рентгеновского излучения NLR12::RU\NLR\auth\661386158
Системный номер: NLR01 000472976

Ссылки

Назад к списку результатов

Результат 1

Силаков, М. В.; Бабушкин, В. А.; Валиев, К. А.

2003

Ищем в удалённых базах данных, пожалуйста подождите