Язык:

Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.01

Рыбачек, Елена Николаевна

Электронная копия. Библиотека также имеет физические копии.

Заглавие:
Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.01
Шифр хранения: 2008-4/3891
Описание: Рыбачек Е. Н. Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.01 / Рыбачек Елена Николаевна ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники]. - М., 1998. - 27 с. : ил. ; 21 см.. - Библиогр.: с. 25-27 (12 назв.)
Автор: Рыбачек, Елена Николаевна
Язык: Русский
Примечания: Библиогр.: с. 25-27 (12 назв.)
Коллекции: Авторефераты
Системный номер: NLR01 001183411

Ссылки

Назад к списку результатов

Предыдущие Результат 17 Следующие На следующую страницу